Nederlands Tijdschrift voor Natuurkunde

Laserschieten op tindruppels

NTvN 83-11

Het novembernummer is uit!

Quantumschaalmodel

Artistieke weergave van het centrale gedeelte van de chip waar een aantal elektronen in een kunstmatig rooster van drie roosterpunten wordt gevangen. Lees er meer over in het artikel van Toivo Hensgens in het novembernummer. Illustratie: J. Edwards, JQI.

Vorige Volgende

Artikel

Laserschieten op tindruppels

Gepubliceerd: 1 november 2017 13:00

Een laserpuls versnelt een microscopisch tindruppeltje met een miljard keer de zwaartekrachtversnelling, waardoor de druppel vervormt. Een eerste laserpuls zorgt voor een dunne pannenkoek en een volgende zorgt voor de volledige desintegratie van het druppeltje tot in een plasma. Dit tinplasma wordt in de nieuwste generatie chipmachines van ASML gebruikt om extreem ultraviolet licht op te wekken om daarmee de kleinste structuren te ‘printen’ op plakken halfgeleidermateriaal en zo geïntegreerde schakelingen mogelijk te maken. Belangrijk in dit proces is een tindruppeltje te vervormen tot een dunne pannenkoek zonder dat deze uiteenspat. Onderzoekers van het Advanced Research Center for Nanolithography (ARCNL) en de vakgroep Physics of Fluids aan de Universiteit Twente werken samen met ASML aan een beter begrip van de onderliggende plasma- en vloeistoffysica.

Auteurs: Hanneke Gelderblom en Oscar Versolato

Lees het volledige artikel in het novembernummer van het NTvN.